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Optimization of the Profiles in MeV Implanted Silicon Through the Modification of Electronic Stopping Power
소개글 Author: Jung Won-Chae Organization: Jung Won-Chae Publish: Transactions on Electrical and Electronic Materials Volume 14, Issue2, p94~100, 25 Apr 2013
태그
  • B
  • P
  • As
  • Modification of Se
  • MeV implantations
  • Secondary ion mass spectrometry
  • Computer simulation

저작시기 2013-04월

등록일 2016-07-15

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