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Optical In-Situ Plasma Process Monitoring Technique for Detection of Abnormal Plasma Discharge

소개글 Author: Hong Sang Jeen, Ahn Jong Hwan, Park Won Taek, May Gary S. Organization: Hong Sang Jeen; Ahn Jong Hwan; Park Won Taek; May Gary S. Publish: Transactions on Electrical and Electronic Materials Volume 14, Issue2, p71~77, 25 Apr 2013
태그
  • Advanced process control
  • Plasma process monitoring
  • Plasma arc detection

저작시기 2013-04월

등록일 2016-07-15

파일형식 pdf

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